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公司发布2022年半年度业绩预增。2022H1公司营业收入为6.8-7.5亿元，同比+132%-155%；实现扣非归母净利润1.4-1.65亿元，同比+305%-377%。

CMP设备快速放量，收入端延续高速增长

2022H1公司实现营业收入6.8-7.5亿元，同比+132%-155%，中枢增速高于先前指引（87%-138%），其中Q2为3.3-4.0亿元，同比+90%-130%，延续高速增长。分业务来看：1）CMP设备：2021年末公司发出商品7.70亿元（账面价值），其中包含CMP设备69台，CMP设备陆续确认收入，是收入端大幅增长的核心驱动力。2）配套服务：随着CMP设备出货量基数快速提升，我们判断延续高速增长。3）晶圆再生：2021年通过部分大客户验证，我们判断同样实现大幅增长。展望2022全年，2022Q1末公司合同负债&存货分别为8.36和16.75亿元，达到历史最高值，验证在手订单充足。2021年末公司未发出产品的在手订单超过70台，超过2019-2021年累计确认收入总数67台，随着在手订单陆续发货&确认收入，2022全年业绩有望延续高速增长。

产品结构优化&规模效应显现，扣非盈利水平大幅提升2022H1公司实现归母净利润1.70-1.95亿元，同比+141%-176%，中枢增速高于先前指引126.8%中枢增速，好于市场预期，其中Q2为0.79-1.04亿元，同比+168%-253%。2022H1扣非归母净利润为1.40-1.65亿元，同比+305%-377%，扣非归母利润中枢增速同样高于先前指引增速中枢218%；其中Q2为0.62-0.87亿元，同比+201%-322%。若以中位数为计算口径，我们估算2022H1公司归母净利率和扣非归母净利率分别为26%和21%，同比+1pct和+10pct，真实盈利水平明显提升。我们判断这一方面系公司产品结构优化，CMP设备重复订单的单价有所提升，同时高毛利的后服务业务收入占比增长，整体毛利率有所提升；另一方面系规模效应下期间费用率明显下降。

CMP设备具备持续扩张潜力，后服务&晶圆再生业务打开成长空间公司在稳固CMP设备龙头地位的同时，积极拓展CMP后服务&晶圆再生业务，成长空间不断打开。1）CMP设备：我们预计未来5年中国大陆12英寸晶圆新建产线对CMP设备的需求将达到563亿元，公司CMP设备技术水平已经达到当前国内大生产线的最高水平，14nm也在客户验证，将充分受益进口替代。2）后服务：我们预估仅2022-2026年中国大陆12英寸晶圆新增产能，在2026年对CMP设备配套耗材、7分区抛光头维保服务的需求就分别为12、36亿元。随着公司CMP设备出货基数增大，后服务业务有望持续快速放量。3）晶圆再生：我们预计2026年中国大陆12英寸晶圆再生市场规模为19亿元。CMP为晶圆再生核心工艺难点，属于公司主业技术外延，IPO募投重点加码，具备突出重围潜力，有望成为新增长点。

盈利预测与投资评级：考虑到公司盈利水平提升，我们调整2022-2024年归母净利润预测分别为3.92、6.00和7.89亿元（前值3.57、5.41、7.19亿元），当前市值对应动态PE分别为77、50和38倍，维持“买入”评级。