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22H1半导体设备收入及订单高增长，MOCVD设备蓄力，“增持”评级2022H1公司营收19.72亿元，同比+47.30%，归母净利4.68亿元，同比+17.94%，扣非后4.41亿元，同比+615%。半导体刻蚀设备销售高增长、毛利率提升的同时，公司投资产生公允价值变动收益、政府补贴较上年同期减少。考虑到公司半导体设备、MOCVD设备毛利率修复及收入高速增长，我们上调22～24年盈利预测，预计22～24年归母净利润为10.4（前值8.1）/13.5（前值11.1）/16.9（前值14.9）亿元，EPS为1.68（前值1.32）、2.18（前值1.81）、2.75（前值2.42）元，PE85/66/52倍，PS20/15/11倍。

可比公司22年PE、PS均值为98、19倍（Wind一致预测），我们认为中微突出的技术及研发实力、海内外市场地位在本土稀缺度高，应有一定估值溢价，给予22年PS24x，目标价169.09（前值137.66）元。增持评级。

ICP设备销售取得显著增长，CCP/MOCVD设备稳定，毛利率稳步提升在21年全年新增订单金额同比增长90.46%达41.29亿元的基础上，公司2022H1新签订单金额同比增长约61.83%达30.57亿元。公司22H1半导体刻蚀设备收入为12.99亿元/yoy同比+51.48%，毛利率达到46.05%；其中CCP刻蚀设备上半年收入8.86亿元，同比增长13.98%；ICP刻蚀设备上半年收入4.13亿元，同比增长414.08%；公司2022H1MOCVD设备收入为2.41亿元，较上年同期增长约9.90%，毛利率达到35.42%，较2021H1的30.77%有大幅度提升。2022H1归母净利率为23.72%，受公允价值变动、政府补助减少影响，低于上年同期的29.63%。

瞄准世界科技前沿，持续稳步推进三维发展战略公司三维发展战略：既深耕集成电路关键设备领域，积极拓展泛半导体关键设备领域，又不断利用公司核心竞争力探索在新兴科技领域的市场机会。据公司年报，在确保等离子体刻蚀设备及MOCVD设备等核心业务高速稳定成长之外，公司在集成电路的薄膜设备领域正在开发LPCVD设备（低压化学气相沉积设备）和EPI设备（外延生长设备），并已取得了良好进展。

此外公司正在筹划开发ALD设备（原子层沉积设备）和ALE设备（原子层刻蚀设备）等关键设备。我们认为，公司凭借深厚技术底蕴、持续研发投入打开成长边界，有望逐步成为平台化发展的半导体装备全球领先企业。